某光电器件研发公司企业因晶圆的清洗流程生成含氨生产废水,水流量200吨/天。生产废水内除高锰酸盐指数外还富含氟化物和微量分析天价属,加工难易大。当地人直接排放的要求的要求高锰酸盐指数<5mg/L,氟化物<3mg/L。
污废水 成分表及源于
晶圆清洁工作废水处理(主耍从何而来):含氟化物200-300mg/L,氟化物50-80mg/L
刻蚀工艺技术工业废水:含进样器铜、镍等天价属,pH值变化大
CMP磨细生产废水:含硅颗粒剂及化学需氧量
操作的施工顺序步骤
利用"化学反应乳浊液+膜分割+折点氯化"搭配技艺:
预处里
:污泥脱水CaCl2除氟,把控pH在7.5-8.
超滤膜装置
:我们要除0.01μm不低于颗粒肥料物
超滤到精浓
:将氧化还原电位浓缩咖啡至1000mg/L上面
折点氯化
:准确管理氯污泥脱水量,将化学需氧量转成为离氮气
铝离子互换
:的保障高价属达到标准
后面体验
氧化还原电位稳定的<3mg/L,氟化物<1mg/L
天价属份量最低判断限
水中水回用率达75%
污泥干化形成量提高40%