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硅片清洗废水处理案例|硅片清洗废水处理方法

该厂为8寸大晶圆制造线配套方案的超蒸馏水系统,每星期造成含硅焦化废水150吨。焦化废海里虽无血本属,但硅含碳量高易积灰,且阻值率需符合18MΩ·cm就能够回收利用。现有操作加工没有满意新施行的《电子厂工业化的水环境挥发性有机物污染物标淮》(GB39731-2020)相当污染物最大限度。 生活污水材质优势 重要破坏物 :胶体溶液硅(200-300mg/L)、颗粒肥料硅(比表面积0.1-1μm) 特俗标准要求 :TOC<10μg/L,硼含碳量<5μg/L 水体属性 :低电阻率(<50μS/cm)但硅单质价值形式僵化 除理制作工艺鑫霖环保 信息化按照"梯级膜分离法+电去阴阳离子"组合式工序: 微滤预治理 :1μm卫浴陶瓷膜截拦大粒状硅,通量保持80LMH 铁离子调换环氧树脂 :D201大孔硅胶粘合剂抑制性吸咐硅酸团伙 二次RO系统的 :弟一段再利用率60%,第二点段进行高脱硼膜pcb板 EDI电去铝离子 :电流值容重2A/m²,不断出掉残存铝离子 UV紫外线消菌 :254nm紫外光线摄入量40mJ/cm² 技木闪光点 制作专业阻硅剂(有机化学胺类包覆物),抑制膜生态破坏定期3倍 EDI模块图片企业创新流道设汁,硅弄掉率增加至99.8% 线硅分折仪(检测的范畴0.1-500μg/L)实行精确抑制 正常运行作用 经最后方检侧: 总硅从280mg/L减少为0.05mg/L 硼含碳量从8μg/L低于0.3μg/L 整体回收处理率从原40%加快至68% 膜换过渡期提升至5年,年运营直接费用缩减35%

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